真空系统
直线式劳挨透镜镀制机
产品特点
- 该设备为国内首台套设备，拥有纳米多层膜制备、离子束抛光、曲面均匀沉积等多项关键核心技术，可完成各类聚焦镜、单色镜、劳埃镜等膜层制备，具有膜层数多（可达数千层），膜层位置精度高（平均误差小于5nm），厚度精度高（误差小于0.1nm)等特点，用于国家重大科技基础设施高能同步辐射光源（HEPS）项目，为基础科学和工程科学等领域原创性、突破性创新研究提供重要支撑。
应用领域
高能物理、真空镀膜、前沿科学研究
- 技术指标
- 尺寸
- 产品特性
- 配件
- 下载
- 运动系统直线度
- ≤30μm/1000mm
- 运动系统速率稳定性
- ≤0.1% /300mm
- 基板加热最高温度
- 200℃
- 靶位数
- ≥9个
- 靶与样品间距离
- 60~100mm手动可调
- 沉积室极限真空度
- ＜8×〖10〗^(-6)Pa
- 检测室腔室漏率
- ＜1×〖10〗^(-8)Pa∙L/s
- 检测室极限真空度
- ＜8×〖10〗^(-6)Pa
- 进样室基板加热最高温度
- 500℃
- 进样室本底极限真空度
- ＜8×〖10〗^(-5)Pa
| 文件名 | 类型 | 语言 | 日期 | 文件大小 |