1. 金靶尺寸：ø38 mm；
2. 试样台尺寸：ø40 mm；
3. 钟罩尺寸：ø250 mm x H340 mm；
4. 蒸发镀玻璃罩尺寸：ø88 mm x H140 mm；
5. 溅射镀玻璃罩尺寸：ø88 mm x H57 mm； 

SBC-2-I 型多功能试样表面处理机是为扫描电镜和电子探针等进行试样制备的设备，可进行真空蒸碳、真空镀膜和离子溅射，它也可以在高纯氩气的保护之下进行多种离子处理。用本设备处理的试样既可用于样品的外貌观察又可以进行成分分析，尤其是成分的定量分析更为适宜。本仪器配有机械泵、分子泵，分子泵系统特别适用于对真空度要求高、真空环境好的用户选用。