真空获得

FF-63/80

产品特点

  • 转速可达72000RPM;
  • 紧凑型结构设计,便于集成,可以实现24VDC供电后分子泵直接运行;
  • 低功耗、低振动、节能;
  • 更高前级耐压,适合分析仪器行业;
  • 可任意角度安装

应用领域

科学研究飞轮储能质谱分析电子束焊接电真空新能源新材料真空干燥低温制冷电子器件检漏技术
  • 技术指标
  • 尺寸
  • 产品特性
  • 配件
  • 下载
  • 进气口法兰
    DN63 CF DN63 ISO-K
    排气口法兰(ISO-KF)
    DN16
  • 抽速速率(L/s)
    N2:82  He:87  H2:58  Ar:44
    压缩比
    N2:1E8 He:1E3 H2:1E3 Ar:1E8
  • 极限压强(Pa)
    CF:8E-7   ISO-K:7E-6
    最大连续前级压强(Pa)
    200
  • 最大前级压强 (Pa)
    N2:650
    最大气载量(sccm)
    N2:35  He:30  H2:19  Ar:38
  • 额定转速(RPM)
    72000
    启动时间(min)
    ≤3
  • 冷却方式
    水冷或风冷
    冷却水流量(L/min)
    1
  • 冷却水温度(℃)
    ≤25
    电源电压(V AC)
    DC24/AC220
  • 最大功率(W)
    90
    适配电源型号
    TD-80/TCP-100/TC-100
  • 建议前级泵(L/s)
    0.5~2
    重量(kg)
    4.8(ISO-K) 6.5(CF)





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